In this study, Optical Emission Spectroscopy (OES) of plasma jets generated in
various gas and gas mixtures was investigated. Three different types plasma jets system
was designed. These are interaction plasma jet, ac plasma jet, dc plasma jet system. In
the interaction plasma jet system, two different plasma can be collide with each other.
For the gas mixture – plasmas, a gas mixture contain an electronegative gas (H2
or O2) and an electropositive gas (Ar or Ne) was used. Monochromatization effect
(M-effect) was observed in the optical emission spectrum of gas-mixture plasmas
generated in the gas-mixture.
For the generation of the plasma jets, different types power sources (3 kV DC
and 25 kV AC), different types gases and gas mixtures and different types jet designs
were used. These plasma jet systems are small and different from the plasma jets used
in industry. They can work in low pressure conditions (1-50 Torr), as well.
Bu çalışmada, farklı gaz ve gaz karışımlarında üretilen plazma jetlerinin Optik
Emisyon Spektroskopisi (OES) incelenmiştir. Üç farklı tipte plazma jet sistemi dizayn
edilmiştir. Bunlar; etkileşen plazma jet, ac plazma jet ve dc plazma jet sistemidir.
Etkileşen plazma jet sisteminde iki farklı plazma birbiri ile çarpışmaktadır.
Gaz karışım plazmaları için bir elektronegatif gaz (H2 veya O2) ve bir
elektropozitif gaz (Ar veya Ne) içeren gaz karışımı kullanılmıştır. Bu gaz karışımlarında
üretilen gaz karışım plazmalarının optik emisyon spektrumunda Monokromatizasyonetkisi (M-Etkisi) gözlenmiştir.
Plazma jetlerin üretimi için, farklı tip güç kaynakları (3 kV DC ve 25 kV AC),
farklı tip gaz ve gaz karışımları ve farklı tip plazma jet tasarımları kullanılmıştır. Bu
plazma jetleri küçüktür ve sanayide kullanılan plazma jetlerinden farklıdırlar. Ayrıca
düşük basınç (1-50 Torr) şartlarında da çalışabilirler.
