Monte Carlo yöntemi, materyal modellemesine uygulanabilen ve deneysel olarak
doğrudan gözlenemeyecek fiziksel süreçlerin incelenmesinde kullanılan bir simülasyon
tekniğidir.
Alüminyum nitrit (AlN) materyali, geniş bant aralıklı, III-V grubu yarıiletkendir. Bu
materyal yüksek ısıl iletkenliğe sahiptir, son derece sert, çok kuvvetli piezoelektrik özelliktedir
ve yüksek sıcaklıklarda sıra dışı bir direnç ortaya koyar. Bu özellikleriyle yarıiletken
uygulamaları için çok ilgi çekicidir.
Bu çalışmada AlN yarıiletkeninin taşınım özellikleri incelendi. AlN yarıiletken
materyali 6,2 eV’luk geniş bant aralığı nedeniyle deneysel olarak incelemesi zor bir materyaldir.
Monte Carlo simulasyon yöntemi bu amaçla kullanıldı. Elektrik alanın bir fonksiyonu olarak
elektronun sürüklenme hızı, ortalama elektron enerjisi, ortalama serbest zaman, mobilite; Γ ve
L vadi saçılmaları dikkate alınarak incelendi. Simülasyonda; akustik fonon, polar optik fonon,
iyonize safsızlık, dislokasyon, vadilerarası saçılmaları dikkate alındı.
Bulunan sonuçlar, literatürdeki diğer çalışmalarla karşılaştırıldı.
Monte Carlo method is simulation technique which can be applied in material
modelling and can be used in physical process that will not be observated directly
experimental.
Aluminuim nitride (AlN) is a wide band gap III-V semiconductor with a high
thermal conductivity, an extreme hardness, very strong piezoelectric properties and an
extraordinary resistance to high temperatures. This material is interesting with these
properties for semiconductor device applications.
In this study, transport properties of AlN semiconductor compound was
investigated. The investigating AlN material is difficult because of 6,2 eV wide bant
gap.
Monte Carlo simulation method was used for this purpose. As a function of
electric field, drift velocity, mean electron energy, mean free time, mobility was
investigated accountry Γ and L valley. In simulation, acoustic phonon, polar optic
phonon, ionized impurity, dislocation, intervalley scattering mechanisms were taken
into considereation.
The results obtained were compared with other results in literature.
