Bu tez çalışmasında; Termiyonik Vakum Ark (TVA) sisteminde yüksek erime
noktalı bir materyal olan bor elementinin deşarjları oluşturulmuş ve özellikleri
incelenmiştir. İkinci, üçüncü, dördüncü ve beşinci bölümler bu tez çalışmasının teorik
kısımlarıdır. İkinci bölümde plazma ve özellikleri hakkında bilgi, üçüncü bölümde bor
materyalinin özellikleri ve kullanım alanları, dördüncü bölümde iyon kaplama teknikleri
ve iyonlarla kaplamanın avantajları ve beşinci bölümde TVA sistemi ve deşarjlarının
özellikleri ile ilgili teorik bilgiler verilmiştir. Altıncı ve yedinci bölümler ise deneysel
kısımlardır. Altıncı bölümde bor TVA deşarjların akım-voltaj karakteristikleri, bor
buharlarının vakum odasındaki deşarj öncesi ve sonrası için basınç değişimi ve bor ince
filmleri üretilirken kaplanan yüzey üzerindeki kalınlık değişimleri incelenmiştir.
Yedinci bölümde TVA sisteminde oluşturulan bor ince filmlerinin XPS, SEM, HRTEM,
elektron difraksiyon izleri, AFM ve optik özelliklerinin analizleri yapılmıştır.
In this thesis study, discharges of the boron having high melting point were
produced and properties of the boron thin films and discharges were investigated in the
Thermionic Vacuum Arc (TVA). Second, third, fourth and fifth chapters are a part of
theoretical information in the thesis study. Second chapter about description and
properties of plasmas, third chapter about properties and applications of the boron
element and compounds, forth chapter about some ion deposition methods and
advantage of ion deposition and fifth chapter about system, discharges and properties of
the TVA were presented. Sixth and seventh chapters are a part of experimental in this
thesis study. Sixth chapter boron TVA discharges discharge current-voltage
characteristics, discharge current—pressure effect in the vacuum vessel by generating
boron TVA discharges and deposition rate of the boron in the TVA were investigated.
At the last chapter, XPS, SEM, HRTEM, electron diffraction pattern, AFM and optical
properties were analyzed growing thin films of the boron in the TVA.
