Bu tezin amacı, radyo frekanslı manyetik püskürtme ile çok katmanlı ince film pilleri üretmek ve üretilen katı elektrolite sahip ince film pillerin (İFP) analizini yapmaktır. Üretilen pillerin alttaş malzemesi olarak yalıtkan ve saydam materyal olan cam kullanılmıştır. İFP'ler için depolama işlemi her bir alttaşa her seferinde tek bir katman olmak üzere toplam da beş seferde gerçekleştirilmiştir. Sırasıyla indiyum kalay oksit, lityum demir fosfat, lityum fosfat ve lityum titanyum oksit alttaşlar üzerine üretilmiştir. Üretilen İFP'lerin yapısal, optik, yüzeysel ve elektrokimyasal özellikleri belirlenmiştir. İFP'lerin yansıma, geçirgenlik ve soğurma spektrumları ölçülmüştür. FESEM ölçümleri sonucunda üretilen İFP'lerin birinde kolonsal ve noktasal birikimlerin olduğu görülmüştür. Alınan AFM ölçümleriyle üretilen pillerin yüzey karekterizasyonu yapılmıştır. XRD ölçümleri sonucunda üretilen İFP'lerin kaplanan bütün katmanlara sahip olduğu görülmüş ve bazı XRD parametreleri hesaplanmıştır. Çok katmanlı İFP'lerin AC empedans spektroskopi ölçümleri sonucunda üretilen yapının katmanları arasında lityum iyon geçişinin olduğu görülmektedir. Warburg değerleri 38,44 S-s-0.5 ve 0,04 S-s-0.5'dir. İFP'lerin yapılan CV ölçümünde katodik ve anodik tepelerin varlığı görülmektedir. Üretilen pillerin kapasite ölçümleri ise 1000 çevrim boyunca büyük bir değişim göstermemektedir.
The purpose of this thesis is to produce multilayer thin film batteries by radio frequency magnetic sputtering and to analyze the produced solid electrolyte thin film battery (TFB). As the substrate material of the produced batteries, insulated and transparent material glass was used. The indium tin oxide, the lithium iron oxide, the lithium phosphate and the lithium titanium oxide were produced onto substrates, respectively. The structural, optical, morphological and electrochemical properties of the produced TFBs are determined. The reflection, the transmittance and the absorbance values of the TFBs were measured, respectively. As a result of FESEM measurements, it was observed that one of the produced TFB had colonial accumulation while the other one had accumulations of point. The surface characterization of the produced TFBs was performed by AFM measurements. XRD measurements revealed that the all layers of produced TFBs were exists and some XRD parameters were calculated. The result of the AC impedance spectroscopy measurements of multi-layered TFBs, it appears that there is a lithium ion transition between the layers of the produced structure. Warburg values are 38.44 S-s-0.5 and 0.04 S-s-0.5. The presence of cathodic and anodic peaks of the TFBs were seen in the CV. Capacity measurements of the TFB do not show a significant change over 1000 cycles.