Bu çalışmada ultrasonik kimyasal püskürtme tekniği ile 275±5oC taban sıcaklığında
farklı Bor hacimsel oranlarında (%10-20-30-40-50) CdS filmleri elde edilmiştir. Üretilen
filmlerin yapısal, optiksel, yüzeysel ve elektriksel özellikleri incelenerek B elementinin etkisi
araştırılmıştır. Cd1-xBxS filmlerinin spektroskopik elipsometre ile kalınlıkları ve bazı optik
parametreleri belirlenmistir. X-ısını kırınım desenlerinden, tüm filmlerin polikristal yapıda
olustuğu belirlenmiştir. Cd1-xBxS filmlerinin optik özellikleri incelenmis ve yaklasık olarak
2,32 -2,44eV arasında yasak enerji aralıklarına sahip oldukları saptanmıştır. Atomik Kuvvet
Mikroskobu ile filmlerin üç boyutlu yüzey topografileri ve yüzey pürüzlülükleri incelenmiştir.
Taramalı Elektron Mikroskobu ile filmlerin yüzey özellikleri incelenmiş ve Enerji Dağılımlı
X-ısınları Spektrometresi ile elemantal analizleri yapılmıştır. Filmlerin özdirenç değerleri
dört uç metodu ve elektriksel iletkenlik tipleri sıcak uç tekniği kullanılarak belirlenmiştir.
In this study, Cd1-xBxS films have been deposited at a substrate temperature of
275±5°C with different volume ratios of B (%10-20-30-40-50) by ultrasonic spray pyrolysis
technique. The effect of B incorporation has been searched by investigating the structural,
optical, surface and electrical properties of the produced films. Thickness values and some
optical parameters have been determined by spectroscopic ellipsometer. It has been
determined from X-ray diffraction patterns that all films are polycrystalline. Optical
properties have been investigated, and it has been determined that Cd1-xBxS films have band
gap values between 2,32eV and 2,44eV. Three dimensional surface topography and surface
roughness of the films have been investigated by Atomic Force Microscope. Surface
properties of the films have been investigated by Scanning Electron Microscope and
elemental analyses have been made by Energy Dispersive X-ray Spectrometer. Four-probe
method has been used to determine resistivity values of the films. Electrical conductivity
types of the films have been determined by hot-probe technique.
